特許
J-GLOBAL ID：200903022837215420
有機材料の真空蒸着方法およびその装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
赤尾 謙一郎
, 下田 昭
, 小山 尚人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-244238
公開番号（公開出願番号）：特開2007-056330
出願日： 2005年08月25日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 蒸着源に収容された有機材料の熱劣化を防ぐことができ、生産性が向上すると共に、蒸着レートを長時間安定して制御することができる有機材料の真空蒸着方法およびその装置を提供する。【解決手段】 有機材料2を収容し一方が開口する容器1を備えた蒸着源20からの蒸発物質5を対向する基板7に成膜する真空蒸着法であって、蒸着源は、容器に固定せずに容器の開口を閉塞するとともに容器中の有機材料の表面に接触する加熱体3を有し、加熱体のみを加熱して有機材料を蒸発させ、加熱体に形成された少なくとも1つの孔6又は少なくとも1つのスリットから蒸発物質を放出させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機材料を収容し一方が開口する容器を備えた蒸着源から蒸発物質を対向する基板に成膜する真空蒸着法であって、前記蒸着源は、前記容器に固定せずに前記開口を閉塞するとともに該容器中の有機材料の表面に接触する加熱体を有し、前記加熱体のみを加熱して前記有機材料を蒸発させ、前記加熱体に形成された少なくとも1つの孔又は少なくとも1つのスリットから前記蒸発物質を放出させることを特徴とする有機材料の真空蒸着方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB10
, 4K029DB12
, 4K029DB13
, 4K029DB17
, 4K029DB19
, 4K029DB20
, 4K029DB21
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (6件)
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