特許
J-GLOBAL ID：200903023059356254
熱処理チャンバ内で温度測定装置を較正するシステムおよび方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-515730
公開番号（公開出願番号）：特表2005-530997
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
熱処理チャンバ内で高温計などの温度測定装置を較正する方法およびシステム(10)を開示する。本発明によれば、このシステムは、熱処理チャンバ内に収容された基板(14)上に光エネルギーを放出する較正用光源(23)を含む。次いで、光検出器(42)がこの基板を透過する光の量を検出する。その後、検出された光エネルギーの量を用いて、システム内で使用する温度測定装置(27)を較正する。
請求項（抜粋）：
熱処理チャンバ内で温度測定装置を較正する方法であって、
該チャンバ内に配置された半導体ウエハの温度を監視する少なくとも1つの温度測定装置を含む熱処理チャンバを提供する工程であって、該熱処理チャンバは、該チャンバ内に収容されたウエハを加熱する加熱装置と連通し、さらに較正用光源を含み、
前記熱処理チャンバ内に較正用ウエハを配置する工程と、
前記加熱装置を使用して前記較正用ウエハを加熱しながら、前記較正用光源から前記較正用ウエハ上に光エネルギーを放出させる工程と、
前記較正用光源から放出され、前記較正用ウエハを透過する光エネルギーの量を検出し、検出された透過光量に基づいて前記較正用ウエハの温度を求める工程と、
前記求められた温度に基づいて前記温度測定装置を較正する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
G01J5/58
, G01J5/00
, H01L21/26
G01J5/58
, G01J5/00 A
, G01J5/00 101C
, H01L21/26 T
2G066AA04
, 2G066AA08
, 2G066AA20
, 2G066AC11
, 2G066BA11
, 2G066BA34
, 2G066BA38
, 2G066BA60
, 2G066CB01
