特許
J-GLOBAL ID：200903023082658888

露光装置及び露光方法

発明者：
吉澤 朋也

吉澤 朋也 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-333958
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142365
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 走査露光時に原版に発生した変形を、走査方向のみならず、その直交方向についても検出し、補正可能とする。【解決手段】 レチクル2とウエハ4とが同期して移動し、照明光学系9,9a,9bからの露光光でウエハ4上にレチクル2の像を投影光学系8を介して露光する。レチクル2上には走査方向に対し直交方向に周期的に棒状周期パターン14を、走査方向に対し平行に直線状マ-ク15を配置し、投影光学系8の軸外に一組の検出器10aを配置して、走査露光時に、周期パターン14と直線状マ-ク15からの信号を検出し、走査方向のレチクル変形量は周期パターン14の移送信号の変化量から、これと直交する方向のレチクル変化量は直線状マ-ク15の位置変化量から算出する。算出した変化量から投影光学系8の結像特性を補正する。
請求項（抜粋）：
原版に発生した変形を走査方向について検出するのみならず、その直交方向についても検出するために搭載してある変形検出手段と、投影光学系の結像特性を補正する手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 502 G
Fターム (10件)：
5F046AA25 ,  5F046AA28 ,  5F046BA05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB17 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DC04 ,  5F046DD06
引用特許：
審査官引用 (7件)
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