欠陥検査方法、欠陥検査装置及びコンピュータプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-002440
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240519
出願日： 2007年01月10日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】基板を載置している載置台と撮像装置とが相対的に移動して基板の画像を取り込む際に、像の歪みがない高精度の画像を取り込んで、正確な検査を行なう。【解決手段】駆動装置127の駆動によって移動する撮像ユニット120内の撮像装置122によって、載置台112上のウェハWを撮像する。駆動装置127は第1の制御装置131からの駆動信号によって制御される。第1の制御装置131に対して出力される駆動信号は、第2の制御装置132に対しても出力され、当該駆動信号に基づいて、第2の制御装置132は撮像装置122を制御する。撮像装置122自体の移動と、撮像装置122の撮像が同期化される。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

撮像装置と載置台上の基板とを所定方向に相対的に移動させながら、前記基板を前記撮像装置によって撮像して当該基板の欠陥を検査する方法であって、前記基板を撮像装置によって撮像するにあたっては、相対的な移動を実現するための撮像装置又は載置台の駆動と、前記撮像装置による撮像とを同期化させることを特徴とする、欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A , G01B11/30 A , H01L21/66 J

Fターム (20件)：

2F065AA49 , 2F065CC17 , 2F065FF04 , 2F065FF44 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065MM01 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065UU05 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CD07 , 2G051DA07 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DJ04

引用特許：

出願人引用 (1件)

欠陥検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-070804 出願人：オリンパス光学工業株式会社

審査官引用 (6件)

撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-265771 出願人：日本電気株式会社
マスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-115100 出願人：株式会社東芝
パターン検査装置、欠陥検査装置およびパターン検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-232565 出願人：株式会社ニコン

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