表面疵検査方法およびその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：矢葺知之 , 津波古繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-174288
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010008
出願日： 2003年06月19日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】高速で画像処理することができ、かつ疵を高精度で抽出することができる表面疵検査方法およびその装置を提供する。【解決手段】検査材表面を撮像し、撮像画像を画像処理して疵を抽出し、あらかじめ設定した疵判定基準に従い疵の種類および有害度を判定する表面疵検査方法において、撮像画像から疵候補を抽出し、疵候補およびその周辺部を撮像画像から切り出し、抽出した疵候補の特徴量に基づき疵候補を分類し、前記疵候補の種類に応じた特徴量に基づき前記切り出した疵候補およびその周辺部を画像再処理して疵を抽出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査材表面を撮像し、撮像画像を画像処理して疵を抽出し、あらかじめ設定した疵判定基準に従い疵の種類および有害度を判定する表面疵検査方法において、撮像画像から疵候補を抽出し、疵候補およびその周辺部を撮像画像から切り出し、抽出した疵候補の特徴量に基づき疵候補を分類し、前記疵候補の種類に応じた特徴量に基づき前記切り出した疵候補およびその周辺部を画像再処理して疵を抽出することを特徴とする表面疵検査方法。

IPC (2件)：

G01N21/892 , G06T1/00

FI (2件)：

G01N21/892 B , G06T1/00 300

Fターム (31件)：

2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051ED08 , 2G051ED21 , 5B057AA17 , 5B057BA02 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB01 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CE09 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC04 , 5B057DC09 , 5B057DC23 , 5B057DC25

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭59-138904
出荷判定装置、情報記録装置、情報記録媒体、及び情報再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-243383 出願人：住友金属工業株式会社
検査システムおよび半導体デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-334915 出願人：株式会社日立製作所

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