特許
J-GLOBAL ID：200903023331450435
光学素子位置決め装置、それを用いた露光装置、デバイスの製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-121915
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327807
出願日： 2003年04月25日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】光学素子を含む可動部の固定部に対する位置決め精度を向上し、更に、可動部を基準構造体に対して6軸方向の位置決め制御を行うことが可能な光学素子位置決め装置を提供する。【解決手段】光学素子を含む第1可動部と、第1固定部と、前記第1固定部に対して前記第1可動部を駆動する第1駆動手段と、前記第1可動部の前記第1固定部に対する位置を計測する第1計測手段と、前記第1可動部の基準構造体に対する変位を計測する第2計測手段と、前記第2計測手段の計測結果に基づいて、前記第1駆動手段を制御する第1補償器とを有し、前記第1計測手段の計測結果に基づいて、前記第1駆動手段、前記第2計測手段及び前記第1補償器を用いて前記光学素子の位置決めを行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光学素子を含む第1可動部と、第1固定部と、
前記第1固定部に対して前記第1可動部を駆動する第1駆動手段と、
前記第1可動部の前記第1固定部に対する位置を計測する第1計測手段と、
前記第1可動部の基準構造体に対する変位を計測する第2計測手段と、
前記第2計測手段の計測結果に基づいて、前記第1駆動手段を制御する第1補償器とを有し、
前記第1計測手段の計測結果に基づいて、前記第1駆動手段、前記第2計測手段及び前記第1補償器を用いて前記光学素子の位置決めを行うことを特徴とする光学素子位置決め装置。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G01B11/00
, G02B7/00
, G03F7/20
H01L21/30 516A
, G01B11/00 A
, G02B7/00 A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 531A
2F065AA03
, 2F065CC20
, 2F065DD13
, 2F065EE01
, 2F065FF16
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065JJ11
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM13
, 2F065TT02
, 2H043AA05
, 2H043AA09
, 2H043AA25
, 5F046BA05
, 5F046DA13
, 5F046DA14
, 5F046DB05
, 5F046GA03
, 5F046GB01
, 5F046GB09
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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