特許
J-GLOBAL ID：200903023492104936

振動走査型プローブ顕微鏡

発明者：
ポール・イー・ウエスト

ポール・イー・ウエスト について

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リチャード・エス・ベッカー

リチャード・エス・ベッカー について

, 
チチャン・ペン

チチャン・ペン について


出願人/特許権者：
パシフィック・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド

パシフィック・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド について


代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  田中 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320126
公開番号（公開出願番号）：特開2005-140782
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 走査すべき試料の領域に対して位置合わせするのを容易にし、プローブを試料の表面に安全且つ迅速に接近させるのを容易にし、そして試料の速い走査を容易にする。【解決手段】 振動子を或る周波数範囲にわたって動作させ、電流の振幅を周波数範囲にわたって決定し、或る周波数を電流対周波数曲線から選択し、光学顕微鏡を用いて振動子に接続されたプローブを走査されるべき試料表面の領域に対して位置決めし、振動子がプローブを振動させるにつれてプローブを試料に向けて移動させる。更に、振動しているプローブが試料のほぼ100ナノメートル内へ移動されたとき、振動子により生成された音響周波数を検出し、プローブが試料の近傍に移動されたとき原子間力相互作用を検出し、プローブが試料の近傍にあることが検出された後で試料を走査する。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
試料の表面の像を形成する走査型プローブ顕微鏡であって、 信号を生成する振動子を有するセンサと、 前記センサに接続されたプローブと、 前記センサに取り付けられた前記プローブの位置を見る光学顕微鏡と、 前記プローブを前記試料に対して走査する手段と、 前記センサに接続され、前記センサにより生成された信号をモニタリングするセンサ電極と、 前記センサ電極により生成された信号に応答して、前記プローブを前記試料の表面に向けて又はそれから離れるよう移動させる手段と を備える走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N13/10 ,  G01B21/30 ,  G01N13/16 ,  G01N13/22
FI (5件)：
G01N13/10 C ,  G01N13/10 F ,  G01B21/30 101Z ,  G01N13/16 A ,  G01N13/22 A
Fターム (12件)：
2F069AA51 ,  2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24
引用特許：
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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