特許
J-GLOBAL ID：200903023567655070
薄膜太陽電池の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-059045
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258280
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 製造プロセス中、フィルム基板に皺が発生する問題を抑制し、製造歩留まりと品質の安定性の向上を図った薄膜太陽電池の製造装置を提供する。【解決手段】 フィルム基板の巻出し室と巻取り室との間のロール搬送処理工程上の少なくとも一部に、上流の処理工程において加熱されたフィルム基板10の上昇または降下の温度差を低減させる基板温度差低減手段を備える。例えば、基板加熱用の鋳込みヒータを2分割して、高温用鋳込みヒータ9Hおよび低温用鋳込みヒータ9Lとし、それぞれのヒータの前半で温度を高く、後半で低くすることにより、基板温度の平均化を行なうことにより、皺の発生を抑制する。
請求項（抜粋）：
フィルム基板の巻出し用ロールを有する巻出し室と、巻取り用ロールを有する巻取り室と、前記基板のガイドロールと、前記基板の複数個の加熱処理および/または薄膜形成処理室と、薄膜太陽電池の各製造工程に応じて前記基板を搬送しかつ基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、前記巻出し室と巻取り室との間のロール搬送処理工程上の少なくとも一部に、基板における皺の発生を抑制すべく、上流の処理工程において加熱されたフィルム基板の上昇または降下の温度差を低減させる基板温度差低減手段を備えることを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
Fターム (7件)：
5F051BA11
, 5F051CA13
, 5F051CA22
, 5F051CA24
, 5F051FA02
, 5F051FA06
, 5F051GA05
