結晶レンズを備えた対物レンズにおける複屈折の補正

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-514341
公開番号（公開出願番号）：特表2004-535603
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

本発明は、第1の結晶材料から成るレンズ(7)またはレンズ部分の少なくとも1つの第1群(3)と、第2の結晶材料から成るレンズ(11)またはレンズ部分の少なくとも1つの第2群(5)とを備えた対物レンズ(1)、特にマイクロリソグラフィー投影露光装置用の投影対物レンズに関する。最も外側の開口ビーム(15)は、第1群において、互いに直交する2つの線形偏光状態に対する第1の光路差となり、第2群において、互いに直交する2つの線形偏光状態に対する第2の光路差になる。これは、特に第1の結晶材料としてフッ化カルシウムを使用し、第2の結晶材料としてフッ化バリウムを使用することで達成できる。

請求項（抜粋）：

第1の結晶材料から成るレンズ(7,707,709,L829,L927,L928)またはレンズ部分(L1029)の少なくとも1つの第1群(3,703,803,903,1003)と、第2の結晶材料から成るレンズ(11,711,713,L830,L929,L930)またはレンズ部分(L1030)の少なくとも1つの第2群(5,705,L805,L905,L1005)とを備えた対物レンズ(1,701,801,901,1001,85)、特にマイクロリソグラフィー投影露光装置用の投影対物レンズにおいて、最も外側の開口ビーム(15,715,815,915,1015)が、第1群において、互いに直交する2つの線形偏光状態に対する第1の光路差となり、第2群において、互いに直交する2つの線形偏光状態に対する第2の光路差になり、両光路差が補正されることを特徴とする対物レンズ。

IPC (4件)：

G02B13/24 , G02B13/14 , G02B13/18 , H01L21/027

FI (4件)：

G02B13/24 , G02B13/14 , G02B13/18 , H01L21/30 515D

Fターム (23件)：

2H087KA21 , 2H087LA01 , 2H087NA04 , 2H087PA15 , 2H087PB20 , 2H087QA02 , 2H087QA06 , 2H087QA14 , 2H087QA21 , 2H087QA22 , 2H087QA25 , 2H087QA32 , 2H087QA41 , 2H087QA45 , 2H087RA05 , 2H087RA12 , 2H087RA13 , 2H087RA32 , 2H087UA04 , 5F046BA04 , 5F046CA07 , 5F046CB12 , 5F046CB25

引用特許：

審査官引用 (8件)

偏光補償器を有する光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-034111 出願人：カール・ツアイス・スティフツング
光学部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-023049 出願人：カール・ツアイス・スティフツング
光リソグラフィー用光学部材及び投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-242448 出願人：株式会社ニコン

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