特許
J-GLOBAL ID:200903023677043330
導波管装置の光路長を安定化させ調整する方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
青山 葆
, 河宮 治
, 伊藤 晃
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-510985
公開番号(公開出願番号):特表2004-503812
出願日: 2001年06月14日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
光路長を有する感光性光導波管を、安定化された所望の光路長に調整するための方法である。この方法は、導波管の少なくとも第1部分を化学線に曝すことと、露光第1部分に誘起される屈折率変化を引き起こすこととによって、感光性光導波管の光路長を変化させるステップを含む。次に、導波管は導波管を安定化させるアニーリングサイクルに付される。導波管を安定化させるステップの後、導波管の露光第1部分の少なくとも選択された部分を、所望の光路長が達成されるまで、選択された部分での屈折率を変化させる局所加熱にさらすことによって、光路長を調整する。
請求項(抜粋):
光路長を有する感光性光導波管を、安定化した所望の光路長に調整するための方法であって、
a)前記導波管の少なくとも第1部分を、化学線に曝し、前記露光第1部分に誘起された屈折率変化を引き起こすことによって、前記感光性光導波管の前記光路長を変化させるステップと、
b)前記導波管を安定化させるアニーリングサイクルに、前記導波管をさらすステップと、
c)前記導波管を安定化させる前記ステップの後に、前記導波管の前記露光された第1部分の少なくとも選択された部分を、前記所望の光路長が達成されるまで前記選択された部分での前記屈折率を変化させるのに十分局所的加熱することによって、前記光路長を調整するステップとを含む方法。
IPC (3件):
G02B6/28
, G02B6/00
, G02B6/10
FI (3件):
G02B6/28 W
, G02B6/00 306
, G02B6/10 C
Fターム (2件):
引用特許:
引用文献:
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