特許
J-GLOBAL ID：200903023832580630
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077042
公開番号（公開出願番号）：特開2002-278073
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：
【要約】【課題】 特定のポリシロキサンを含有し、波長193nm以下の放射線に対する透明性が高く、ドライエッチング耐性、感度、解像度、現像性等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(イ)下記一般式(1)に示す構造単位(I)あるいは構造単位(II)および下記一般式(2)に示す構造単位(III)あるいは構造単位(IV) からなる群の少なくとも1種を有し、その酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(ロ)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】【化2】〔各式中、各Rは水素原子またはメチル基を示し、R’は水素原子、1価の(ハロゲン化)炭化水素基、ハロゲン原子またはアミノ基を示し、X1 およびX2 は酸により解離して水素原子を生じる1価の有機基または水素原子(但し、X1 の場合を除く。)を示し、R''は水素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基を示し、mおよびnは0〜3の整数である。〕
請求項（抜粋）：
(イ)下記一般式(1)に示す構造単位(I)あるいは構造単位(II)および下記一般式(2)に示す構造単位(III)あるいは構造単位(IV) からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造単位を有する、アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性のポリシロキサンであって、その酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、各Rは相互に独立して水素原子またはメチル基を示し、R’は水素原子、炭素数1〜20の1価の炭化水素基、炭素数1〜20の1価のハロゲン化炭化水素基、ハロゲン原子または1級、2級もしくは3級のアミノ基を示し、X1 は酸により解離して水素原子を生じる1価の有機基を示し、mは0〜3の整数である。但し、一般式(1)中の各ケイ素原子は最上位にあるビシクロ[ 2.2.1 ]ヘプタン環の2-位または3-位に結合している。〕【化2】〔一般式(2)において、各Rは相互に独立して水素原子またはメチル基を示し、R’は水素原子、炭素数1〜20の1価の炭化水素基、炭素数1〜20の1価のハロゲン化炭化水素基、ハロゲン原子または1級、2級もしくは3級のアミノ基を示し、R''は水素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基を示し、X2は水素原子または酸により解離して水素原子を生じる1価の有機基を示し、nは0〜3の整数である。但し、一般式(2)中の各ケイ素原子は最上位にあるビシクロ[ 2.2.1 ]ヘプタン環の2-位または3-位に結合している。〕
IPC (5件)：
G03F 7/075 511
, C08K 5/00
, C08L 83/06
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/075 511
, C08K 5/00
, C08L 83/06
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB33
, 2H025CB41
, 2H025FA17
, 4J002CP051
, 4J002CP071
, 4J002CP081
, 4J002CP091
, 4J002CP101
, 4J002CP151
, 4J002CP161
, 4J002EB116
, 4J002EB126
, 4J002EQ016
, 4J002EU186
, 4J002EV216
, 4J002EV246
, 4J002EV266
, 4J002EV296
, 4J002EV306
, 4J002FD206
, 4J002GP03
