特許
J-GLOBAL ID：200903024267676706
チャンバ装置の運転方法、チャンバ装置、これを備えた電気光学装置および有機EL装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-078721
公開番号（公開出願番号）：特開2003-272846
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 チャンバルーム内を安定且つ新鮮な不活性ガスの雰囲気に維持することができるチャンバ装置の運転方法、チャンバ装置、これを備えた電気光学装置および有機EL装置を提供することを課題とする。【解決手段】 不活性ガスの補給および排気を連続させて、チャンバルーム11内に不活性ガスの雰囲気を構成する。また、チャンバルーム11は略直方体形状を有し、補給および排気に伴う不活性ガスの気流を、チャンバルーム11の略対角方向に流すものである。
請求項（抜粋）：
不活性ガスの補給および排気を連続させて、チャンバルーム内に不活性ガスの雰囲気を構成することを特徴とするチャンバ装置の運転方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, B41J 2/01
, H05B 33/14
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, B41J 3/04 101 Z
2C056FB01
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA03
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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