サンプルを含む流体のSEM検査のための方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 宮前徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-511867
公開番号（公開出願番号）：特表2005-529341
出願日： 2003年06月01日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【解決手段】湿った環境でサンプルを視覚化する方法は、サンプルを湿った環境の標本エンクロージャ内に導入し、走査型電子顕微鏡において該標本エンクロージャ内の該サンプルを走査し、これにより、該サンプルを視覚化する、各工程を備える。

請求項（抜粋）：

湿った環境でサンプルを視覚化する方法であって、サンプルを湿った環境の標本エンクロージャ内に導入し、走査型電子顕微鏡において前記標本エンクロージャ内の前記サンプルを走査し、これにより、該サンプルを視覚化する、各工程を備える、方法。

IPC (6件)：

G01N23/203 , G01N23/225 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/252 , H01J37/28

FI (7件)：

G01N23/203 , G01N23/225 , H01J37/20 A , H01J37/22 502A , H01J37/22 502F , H01J37/252 A , H01J37/28 B

Fターム (19件)：

2G001AA03 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001HA07 , 2G001JA13 , 2G001KA12 , 2G001LA01 , 2G001MA02 , 5C001AA01 , 5C001BB03 , 5C001CC04 , 5C033PP02 , 5C033PP05 , 5C033PP06 , 5C033UU03 , 5C033UU04 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

出願人引用 (32件)

米国特許番号3,218,459
米国特許番号4,705,949
米国特許番号4,720,622

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審査官引用 (13件)

特開昭51-042461
環境制御型走査型透過電子線観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-083563 出願人：株式会社ニコン
特開昭47-024960

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引用文献：

審査官引用 (2件)

CL測定用TEM試料ホルダーの開発と応用
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