特許
J-GLOBAL ID：200903024521285348
インピーダンス整合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-100992
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273419
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】 インピーダンス整合装置の整合部10の素子の耐電圧値を超える電圧や、耐電流値を超える電流によって、整合部の素子が破損するおそれがある。従来は、整合部の出力端における電圧を演算して異常を監視していた。しかし、整合動作中の演算負荷が大きい等の課題があった。【解決手段】 可変インピーダンス素子の可動部が取り得る複数の位置を対象とし、対象となる複数の可動部の位置のそれぞれに対応する許容電力値を予め記憶した記憶部70と、位置検出部41,42から出力された可動部の現在位置と記憶部70に記憶した許容電力値とに基づいて許容電力値を定め、この許容電力値と入力電力値とを比較して、前記許容電力値よりも入力電力値の方が大きい場合に異常であると判定する異常判定部80とを備えた。これにより、整合動作中の演算負荷を少なくできる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
高周波電力を出力する高周波電源装置と負荷との間に設けられ、高周波電源装置と負荷のインピーダンスを整合させるインピーダンス整合装置において、
可動部の位置を変位させることによって、インピーダンスを変更できる可変インピーダンス素子を少なくとも1つ設けた整合手段と、
前記可変インピーダンス素子毎に設けられ、前記可変インピーダンス素子の可動部の位置を可動範囲の中で複数段階に変位させる駆動手段と、
前記駆動手段を制御することによって、前記高周波電源装置と負荷のインピーダンスが整合するように、前記可変インピーダンス素子のインピーダンスを変更させる制御手段と、
前記整合手段の入力端における電力値を検出または演算して、入力電力値として出力する入力電力取得手段と、
前記整合手段の可変インピーダンス素子が1つの場合は、この可変インピーダンス素子の可動部が取り得る複数の位置を対象とし、前記整合手段の可変インピーダンス素子が複数の場合は、複数の可変インピーダンス素子の可動部がそれぞれ取り得る複数の位置を組み合わせた位置を対象とし、対象となる位置のそれぞれに対応する許容電力値を、可動部の位置に関連付けて予め記憶した記憶手段と、
可動部の現在位置と前記記憶手段に記憶した許容電力値とに基づいて、前記可動部の現在位置に対応する許容電力値を定め、この許容電力値と前記入力電力値とを比較して、前記許容電力値よりも前記入力電力値の方が大きい場合に異常であると判定し、異常信号を出力する異常判定手段と、
を備えたインピーダンス整合装置
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/306
, C23C 16/505
H05H1/46 R
, H01L21/302 101Z
, C23C16/505
4K030FA01
, 4K030JA16
, 4K030KA30
, 4K030LA15
, 5F004CA03
, 5F004CA08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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