特許
J-GLOBAL ID：200903024802606321

LPP、EUV光源駆動レーザシステム

発明者：
アーショフ アレクサンダー アイ

アーショフ アレクサンダー アイ について

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ビカノフ アレクサンダー エヌ

ビカノフ アレクサンダー エヌ について

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コーディキン オリー ヴィー

コーディキン オリー ヴィー について

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フォーメンコフ イゴー ヴィー

フォーメンコフ イゴー ヴィー について


出願人/特許権者：
サイマー インコーポレイテッド

サイマー インコーポレイテッド について


代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-519481
公開番号（公開出願番号）：特表2009-500796
出願日： 2006年06月27日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】レーザ生成プラズマ(LPP)極紫外線(EUV)光源を提供する。【解決手段】駆動レーザビームを生成する駆動レーザと、第1軸線を有する駆動レーザビーム第1経路と、第1経路から第2軸線を有する第2経路に駆動レーザビームを移送する駆動レーザ方向変換機構と、中央に位置する開口を有するEUV集光装置光学要素と、第2経路内にあり、開口内に位置決めされ、かつ第2軸線に沿って位置するプラズマ開始サイト上に駆動レーザビームを集束させる集束ミラーとを含むことができるレーザ生成プラズマEUVシステムを含むことができる装置及び方法。装置及び方法は、駆動レーザビームが、関連する幾何学形状の制限において実際的ではない場合に有効プラズマ生成エネルギで約100μm未満のEUVターゲット液滴上に集束させることが集束レンズを利用するような波長を有する駆動レーザによって生成されることを含むことができる。駆動レーザは、CO2レーザを含むことができる。駆動レーザ方向変換機構は、ミラーを含むことができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
駆動レーザビームを生成する駆動レーザと、 第1の軸線を有する駆動レーザビーム第1経路と、 前記第1経路から第2の軸線を有する第2経路に前記駆動レーザビームを移送する駆動レーザ方向変換機構と、 中央に位置する開口を有するEUV集光装置光学要素と、 前記第2経路内にあり、前記開口内に位置決めされ、かつ前記第2の軸線に沿って位置するプラズマ開始サイト上に前記駆動レーザビームを集束させる集束ミラーと、 を含むことを特徴とするレーザ生成プラズマEUVシステム。
IPC (4件)：
H05G 2/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01S 3/00
FI (5件)：
H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S ,  H01L21/30 531A ,  G03F7/20 503 ,  H01S3/00 A
Fターム (15件)：
2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  4C092BD18 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03 ,  5F172AD05 ,  5F172DD04 ,  5F172NN27 ,  5F172ZZ02 ,  5F172ZZ20
引用特許：
出願人引用 (12件)
  • 米国特許出願出願番号第11/217、161号
  • 米国特許出願出願番号第11/174、299号
  • 米国特許第6、625、191号
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審査官引用 (7件)
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