投影露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005739
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307448
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】投影露光装置における投影光学系の振動の露光精度への悪影響を排除する。【解決手段】原版に形成されたパターンを被露光基板上に投影する投影光学系を有する投影露光装置において、前記投影光学系の振動を計測するための少なくとも2個の振動計測手段を設ける。これらの振動計測値から振動モードや像面の変位および変形を算出し、原版や基板の位置または駆動状態を補正する。

請求項（抜粋）：

原版に形成されたパターンを被露光基板上に投影する投影光学系を有する投影露光装置であって、前記投影光学系の振動を計測するための少なくとも2個の振動計測手段を備えていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/23

FI (2件)：

H01L 21/30 503 F , G03F 7/23 H

引用特許：

出願人引用 (6件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097085 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142952 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-198325

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審査官引用 (1件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097085 出願人：株式会社ニコン

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