特許
J-GLOBAL ID:200903025169647850

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-322638
公開番号(公開出願番号):特開2002-182387
出願日: 1994年12月12日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】【課題】 レジストの線幅が太らず光感度が高く、しかも光開始剤のめっき液への溶出がほとんどないため、めっき液の汚染が少ない感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基を有するポリマー40〜80重量部、(B)少なくとも1つの不飽和結合を有し、重合可能な化合物20〜60重量部((A)と(B)との総量が100重量部となるようにする)、(C)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素原子数6〜12のアルキレン基を示す)で表される光開始剤を0.05〜1重量部(前記(A)と(B)との総量100重量部に対して)及び(D)ヘキサアリールビイミダゾールを0.1〜3.0重量部(前記(A)と(B)との総量100重量部に対して)を含有する感光性樹脂組成物並びに支持体フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメント。
請求項(抜粋):
(A)カルボキシル基を有するポリマー40〜80重量部、(B)少なくとも1つの不飽和結合を有し、重合可能な化合物20〜60重量部((A)と(B)との総量が100重量部となるようにする)、(C)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素原子数6〜12のアルキレン基を示す)で表される光開始剤を0.05〜1重量部(前記(A)と(B)との総量100重量部に対して)及び(D)ヘキサアリールビイミダゾールを0.1〜3.0重量部(前記(A)と(B)との総量100重量部に対して)を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/18
FI (3件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/18 D
Fターム (18件):
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB54 ,  5E343BB67 ,  5E343CC61 ,  5E343DD33 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許:
審査官引用 (32件)
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