特許
J-GLOBAL ID：200903025454314474
圧電振動片の製造方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-160050
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060461
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 従来の製造工程の途中でウェハへの貼り付け工程等を追加せずに、さらに初回のエッチングで生じた各凹陥部の厚みのばらつきを確実に且つ短時間で、あらかじめ設定された範囲内に収めることのできる圧電振動片の製造方法および装置を提供する。【解決手段】 マスクから露出する水晶ウェハ12の表面を一括にエッチングした後、水晶ウェハ12に形成される複数の励振部14の周波数を個別に測定する。そして励振部14の周波数が設定範囲内に収まるよう算出された個々の励振部のエッチング時間をもとに、エッチング終点が一致するようエッチング開始時刻をずらしてポンプ40およびシリンジ38を用いてエッチング液18の滴下を個々の励振部14ごとに行なう。
請求項（抜粋）：
ウェハの表面にレジスト膜からなるマスクを形成した後、前記マスクの開口より露出する前記ウェハの表面をエッチングして励振部を形成する圧電振動片の製造方法であって、前記エッチングを第1エッチング工程と第2エッチング工程とに分割し、前記第1エッチング工程にて前記マスクから露出する前記ウェハの表面を一括にエッチングして複数の励振部を形成した後、前記各励振部の周波数を測定し、これら励振部の周波数が設定範囲内に収まるよう算出された前記各励振部のエッチング時間をもとに、エッチング終点が一致するように前記各励振部のエッチング開始時刻をずらして前記第2エッチング工程を前記励振部ごとに行なうことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/04
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H03H 9/19
H03H 3/04 B
, H03H 3/04 A
, H03H 9/19 A
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/18 101 A
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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