特許
J-GLOBAL ID:200903025499389696
接着剤組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
, 鈴木 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-149365
公開番号(公開出願番号):特開2006-328104
出願日: 2005年05月23日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】 半導体ウエハーなどの基板を、支持体に任意の厚みで面内均一に固定化することができる溶液型の接着剤組成物であって、ウエハーの加工処理時においては堅固で高耐熱の接着能を有するとともに、加工処理後においては支持体からウエハーを容易に剥離することが可能な接着剤組成物を提供すること。 【解決手段】 本発明の接着剤組成物は、溶融温度が50〜300°Cであり、溶融温度幅が30°C以下であり、かつ、溶融温度における溶融粘度が0.1Pa・s以下である接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物であって、該接着機能成分の含有量が5〜30wt%であり、かつ、該組成物の25°Cにおける溶液粘度が5〜100mPa・sの範囲にあることを特徴とする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
溶融温度が50〜300°Cであり、溶融温度幅が30°C以下であり、かつ、溶融温度における溶融粘度が0.1Pa・s以下である接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物であって、
該接着機能成分の含有量が5〜30wt%であり、かつ、該組成物の25°Cにおける溶液粘度が5〜100mPa・sの範囲にあることを特徴とする接着剤組成物。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
4J040BA10
, 4J040GA05
, 4J040HB03
, 4J040HB05
, 4J040HB09
, 4J040KA23
, 4J040LA01
, 4J040LA02
, 4J040NA20
, 4J040PA42
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
仮止め用接着剤
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-034222
出願人:日化精工株式会社
-
ウエハ-の仮着用接着剤
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-339910
出願人:日化精工株式会社
審査官引用 (9件)
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