特許
J-GLOBAL ID:200903025595560940
光素子およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉武 賢次 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-269231
公開番号(公開出願番号):特開2002-176226
出願日: 2001年09月05日
公開日(公表日): 2002年06月21日
要約:
【要約】【課題】 高い反射率を有し、ストップバンドの波長幅が広く、製造が容易なDBRを提供することによって、効率が高く、動作が安定しており、歩留まりが高い光素子及びそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 窒化物半導体からなる複数の半導体層が互いにほぼ等間隔に離間して積層された分布ブラック反射鏡(DBR)を用いる。また、窒化物半導体からなる半導体層と、有機膜からなる有機膜層と、を交互に積層した分布ブラック反射鏡(DBR)を用いる。
請求項(抜粋):
光を反射する反射鏡を備えた光素子であって、前記反射鏡は、アルミニウムを含有する第1の窒化物半導体からなるほぼ同一の膜厚の複数の半導体層が互いにほぼ等間隔に離間して積層された積層体を有することを特徴とする光素子。
IPC (7件):
H01S 5/187
, C09K 9/02
, G02B 5/23
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, H01S 5/22
, H01S 5/343 610
FI (7件):
H01S 5/187
, C09K 9/02 B
, G02B 5/23
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, H01S 5/22
, H01S 5/343 610
Fターム (32件):
2H048DA01
, 2H048DA04
, 2H048DA12
, 2H048DA22
, 2H048FA04
, 2H048FA05
, 2H048FA07
, 2H048FA09
, 2H048FA13
, 2H048FA15
, 2H048FA22
, 2H048FA24
, 2H048GA04
, 2H048GA05
, 2H048GA09
, 2H048GA11
, 2H048GA23
, 2H048GA34
, 2H048GA61
, 5F073AA04
, 5F073AA07
, 5F073AA13
, 5F073AA65
, 5F073AA74
, 5F073AB17
, 5F073BA06
, 5F073CA07
, 5F073DA05
, 5F073DA06
, 5F073DA25
, 5F073DA26
, 5F073EA28
引用特許:
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