特許
J-GLOBAL ID：200903025840198209
研磨布及び研磨加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-157526
公開番号（公開出願番号）：特開2004-358584
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】被研磨物の平坦性を確保可能で研磨効率を向上させることができる研磨布を提供する。【解決手段】研磨パッド1は、ポリウレタン樹脂製のポリウレタンシート2を有している。ポリウレタンシート2は、厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面略三角状の大きなセル3が形成されている。セル3にはポリウレタン樹脂が隔壁状に存在しており、ポリウレタン樹脂中には微小発泡4が形成されている。一部の微小発泡4にはポリウレタンシート2の製造時に添加される微小粒子5が内在しており、微小粒子5は脱離可能とされている。ダミー研磨等で研磨面Pに位置する微小粒子5を脱離させることにより、研磨面Pに研磨粒子を含む研磨液をほぼ均等に貯留する微小発泡が形成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微小粒子が含有された軟質プラスチックフォームシートを有する研磨布において、前記シートは、研磨面に前記微小粒子が脱離されて形成される微小発泡構造を有することを特徴とする研磨布。
IPC (4件)：
B24B37/00
, B24D3/00
, B24D11/00
, H01L21/304
B24B37/00 C
, B24D3/00 320A
, B24D3/00 320B
, B24D11/00 E
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB03
, 3C058DA17
, 3C063AB07
, 3C063BA15
, 3C063BB02
, 3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BB07
, 3C063BC09
, 3C063FF23
