反射防止構造体を備える部材およびその部材の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小笠原史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-141861
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317807
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】曲面上にも高精度に製造可能で反射防止効果が良好で均一な反射防止構造体を備えるレンズ素子の製造方法を提供する。【解決手段】反射を抑制すべき光が入射する表面に、反射防止構造体を備える部材であって、反射防止構造体は、多角形を底面とするアスペクト比が1以上の錐形状を構造単位とし、各構造単位が、反射を抑制すべき光の波長以下のピッチで、底面同士が互いの辺を共有することなく互いの頂点を共有するようにアレイ状に配列されている。この部材は、X線に感光する材料からなる基板、もしくは表面にX線に感光するX線レジストからなる層が形成された基板のいずれかを準備する準備工程と、基板に、X線マスクを介してX線を露光して、X線マスクのパターンに応じたX線強度分布を形成する露光工程と、露光された基板を、現像して反射防止構造体を形成する現像工程とを含む製造方法により製造される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

反射を抑制すべき光が入射する表面に、反射防止構造体を備える部材であって、前記反射防止構造体は、多角形を底面とするアスペクト比が1以上の錐形状を構造単位とし、各前記構造単位が、反射を抑制すべき光の波長以下のピッチで、前記底面同士が互いの辺を共有することなく互いの頂点を共有するようにアレイ状に配列されている、反射防止構造体を備える部材。

IPC (7件)：

G02B 1/11 , G03F 7/20 , C25D 1/00 , C25D 1/10 , C03C 15/00 , C03B 11/00 , C03B 20/00

FI (7件)：

G02B1/10 A , G03F7/20 503 , C25D1/00 361 , C25D1/10 , C03C15/00 D , C03B11/00 M , C03B20/00 Z

Fターム (17件)：

2H097CA15 , 2H097GA45 , 2H097LA16 , 2H097LA17 , 2K009AA01 , 2K009BB02 , 2K009BB11 , 2K009DD15 , 2K009DD17 , 4G014AH00 , 4G059AA11 , 4G059AB07 , 4G059AB19 , 4G059AC01 , 4G059AC04 , 4G059BB01 , 4G059BB13

引用特許：

出願人引用 (4件)

カバーガラス及び光学部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-307671 出願人：セイコーエプソン株式会社
表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-088524 出願人：科学技術振興事業団, 高原浩滋
X線照射を用いた材料の加工方法及び加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-202223 出願人：学校法人立命館

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審査官引用 (5件)

光学素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-089860 出願人：三菱電機株式会社
紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-039595 出願人：関西ティー・エル・オー株式会社
シリコン表面および金属表面の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274564 出願人：大阪府

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