照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-262590
公開番号（公開出願番号）：特開2007-053390
出願日： 2006年09月27日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：

【課題】ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の入射光をほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換することのできる偏光変換素子を用いて、光量損失を良好に抑えつつ周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成する。【解決手段】本発明の照明光学装置は、照明光を供給する光源(1)と、この光源と被照射面(M,W)との間の光路に配置されて、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子(10)とを有する。偏光変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有すると共に、照明光路に対して挿脱可能に構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

照明光を供給する光源と、該光源と被照射面との間の光路に配置されて、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子とを有し、前記偏光変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有すると共に、照明光路に対して挿脱可能に構成されることを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , G02B 5/30 , G02B 5/18

FI (4件)：

H01L21/30 515D , G03F7/20 501 , G02B5/30 , G02B5/18

Fターム (28件)：

2H049AA03 , 2H049AA13 , 2H049AA55 , 2H049AA64 , 2H049BA02 , 2H049BA04 , 2H049BA06 , 2H049BA07 , 2H049BA12 , 2H049BA14 , 2H049BA42 , 2H049BA43 , 2H049BB01 , 2H049BB03 , 2H049BB05 , 2H049BB42 , 2H049BB61 , 2H049BC21 , 2H097CA17 , 2H097CA19 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 2H097LA12 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CA04 , 5F046CB15 , 5F046CB23

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3246615号公報

審査官引用 (7件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219782 出願人：株式会社ニコン
波長板およびそれを備えた光ピックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-262907 出願人：株式会社三協精機製作所
ビーム列検出方法および検出用位相フィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-253564 出願人：旭光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る