特許
J-GLOBAL ID：200903026419725964

光走査型観察装置、走査型観察装置の設定方法及び光走査プローブ装置

発明者：
内山 昭夫

内山 昭夫 について

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堀井 章弘

堀井 章弘 について

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飯塚 修平

飯塚 修平 について

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平田 唯史

平田 唯史 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137677
公開番号（公開出願番号）：特開2003-199701
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：
【要約】【課題】 光学性能が良好な状態に容易に設定できる光走査型観察装置を提供する。【解決手段】 低可干渉光源11の光を用いて光走査プローブ2により観察を行う前に、参照光側の光路にシャッタ27を挿入して干渉光が起こらない状態で光走査プローブ2による観察光路側で駆動装置5により基準部材5を移動して、光検出手段18の出力が極大となるように基準部材5を集光光学系17の焦点位置に設定し、その後シャッタ27を開にして、光検出手段18の出力が極大となるように参照光側のミラー22の位置を移動設定することにより、光走査型観察装置1を良好な光学特性の状態に簡単かつスムーズに設定できるようにした。
請求項（抜粋）：
低可干渉光源と、前記低可干渉光源から出射した光を、観察光光路と、参照光光路に分離する光分離手段と、観察光光路と参照光光路の少なくとも一方に設けられた光路長可変手段と、前記観察光光路の前記分離手段とは他端側に設けられた集光手段と、前記集光手段より出射した光が測定対象物に照射され、反射もしくは散乱した光を受光する受光光学系と、受光光学系で受けた光を伝送する観察光戻り光路と、前記観察光戻り光路と、前記参照光光路を結合する光結合手段と、前記光結合手段よりの光を電気信号に変換する光検出手段と、光検出手段で検出した信号より、観察対象物の画像を生成する画像化手段と、画像を表示する表示手段と、前記測定対象物に対し光を走査する光走査手段を有し、前記参照光光路に設けられ、前記光結合手段での干渉状態を変化させる光伝達状態変化手段と、前記集光手段から光の照射を受ける位置で、前記集光手段に対する距離を可変できる基準部材と、前記光伝達状態変化手段を操作し前記参照光光路の伝達効率を落とした状態で、前記光検出手段で検出した信号を元に、前記基準部材と前記集光手段に対する位置を特定する焦点位置検出手段と、前記光伝達状態変化手段を操作し前記光結合手段で干渉がおこる状態で前記光分離手段から前記観察光光路、前記集光手段、前記焦点位置検出手段で特定された前記基準部材位置、前記受光光学系、前記観察光戻り光路、前記光結合手段と経由される光路と、前記参照光光路との光学的長さが略一致する様、前記光検出手段で検出した信号を元に、前記光路長可変手段を操作する光路長調整手段と、を有することを特徴とする走査型観察装置。
IPC (3件)：
A61B 1/00 300 ,  G01N 21/17 620 ,  G02B 23/24
FI (3件)：
A61B 1/00 300 T ,  G01N 21/17 620 ,  G02B 23/24 B
Fターム (22件)：
2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF02 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ23 ,  2G059JJ30 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2H040CA03 ,  2H040CA11 ,  2H040CA12 ,  2H040FA10 ,  4C061BB08 ,  4C061JJ20 ,  4C061MM09 ,  4C061NN10
引用特許：
審査官引用 (13件)
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