特許
J-GLOBAL ID：200903026447087108
クリーンストッカー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-291740
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100857
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 クリーンストッカー内部の空気を清浄に保つことができるクリーンストッカーを提供する。【解決手段】電子部品材料またはその加工品を収納する、実質的に密閉可能な収納室2を有し、収納室2に関連させて送風室3と戻し風室4が設けられ、かつ送風室3には空気中の微粒子を除去する微粒子除去部10と、空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部11が配置され、送風機17aからの送風が微粒子除去部10のみ、または化学汚染物質除去部11と微粒子除去部10との切替制御を行い、収納室2および戻し風室4を経て収納室2に循環する構成にして、収納室2の清浄度をより良い環境にし、電子部品材料またはその加工品の不良を極限に抑えるものである。
請求項（抜粋）：
電子部品材料またはその加工品を収納するクリーンストッカーであって、該クリーンストッカーは、送風室、収納室、および戻し風室で構成し、かつ前記送風室、前記収納室には、空気中の微粒子を除去する微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部とが前記クリーンストッカーを仕切って配置され、前記送風室からの送風が前記収納室内の前記微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、および前記戻し風室を経て前記送風室に戻って循環する構成において、前記送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させる前記送風機の運転制御、及び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機の運転制御をなし、かつ前記送風室、前記収納室および前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成し、前記封止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染物質を抑制するために揮発性の良い高純度のアルコール水溶液で前記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶液からの水分とアルコールの揮発性を利用して、前記封止材表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部からの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑制することを特徴としたクリーンストッカー。
Fターム (6件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA17
, 5F031NA03
, 5F031NA16
, 5F031PA26
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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