特許
J-GLOBAL ID：200903026477947870

ビーム加工方法及びビーム加工装置

発明者：
宮本 和徳

宮本 和徳 について


出願人/特許権者：
リコーマイクロエレクトロニクス株式会社

リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-007832
公開番号（公開出願番号）：特開2003-211279
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：
【要約】【課題】 エネルギービームにより適した加工を行うのに必要なエネルギー密度が互いに異なる複数の加工対象物を、1つのビーム源からのレーザービームで適切に加工することである。【解決手段】 共通のYAGレーザ装置を用いて、ITOコートガラスとITOコートフィルム上のITO導電膜を除去する加工を行う。YAGレーザ装置からのパルスレーザ光が光路切換器7内に入射されると、その加工対象物の種類に応じてミラー載置台701が上下に移動し、コア径の異なる光ファイバ201a,201bに選択的に案内され、共通のレーザ照射ヘッドから加工対象物に照射される。高いエネルギー密度を必要とする加工対象物を加工する場合、パルスレーザ光をコア径の小さい光ファイバに案内することで、スポット径が小さくなり、高いエネルギー密度を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ビーム源から出射されたエネルギービームを加工対象物に照射することで、該加工対象物を加工するビーム加工方法において、同じ加工処理を施すときに必要となる単位面積当たりのエネルギー量が互いに異なる複数種の加工対象物に、同一のビーム源から出射されたエネルギービームをそれぞれ照射するときの各スポット径を、その加工対象物の種類に応じて変更するための処理を行うことを特徴とするビーム加工方法。
IPC (3件)：
B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  B23K101:42
FI (4件)：
B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 C ,  B23K 26/08 K ,  B23K101:42
Fターム (6件)：
4E068CA02 ,  4E068CA05 ,  4E068CA07 ,  4E068CD03 ,  4E068CE08 ,  4E068DA11
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
  • レ-ザ加工機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-256112   出願人：日清紡績株式会社
  • タッチパネル
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-111281   出願人：グンゼ株式会社
  • レーザ加工装置用光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-073602   出願人：住友重機械工業株式会社
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