特許
J-GLOBAL ID：200903026486025470

共焦点光学系を有した測定装置

発明者：
清水 房生

清水 房生 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-158557
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337033
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】半透明物質などに覆われた被検物であってもその内部の所望の被検部位の計測ができる共焦点光学系を有した測定装置を提供する。【解決手段】測定装置は、共焦点光学系を備え、共焦点光学系の焦点面を被検物に対してその高さ方向に相対移動させながら異なる高さ位置ごとに、順次、前記被検物の光量データを取得し、記憶する装置であり、被検物の被検部位を指定すると共に、その指定した被検部位の高さ方向の光量データ分布グラフ上において、所望の測定範囲を任意に指定することで、その記憶した光量データに基づき被検部位の高さなどの測定が可能である。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
共焦点光学系と、 前記共焦点光学系の焦点面と被検物とをその高さ方向に相対移動させる駆動手段と、 前記共焦点光学系を介して前記被検物の像を受光し、前記駆動手段により相対移動された前記共焦点光学系の焦点面の高さ位置ごとに、順次、前記被検物の光量データを取得する光電変換手段とを備えた共焦点光学系を有した測定装置において、 前記被検物の形状を表示する表示手段と、 前記表示手段により表示された被検物画像上において、測定したい所望の被検部位の位置を指定する第一指定手段と、 前記第一指定手段で指定された前記被検部位における、前記光電変換手段で取得した前記高さ方向の前記光量データの分布グラフを表示するグラフ表示手段と、 前記グラフ表示手段により表示された前記光量データの分布グラフ上において、測定したい所望の前記高さ方向の位置を指定する第二指定手段と、 前記第二指定手段により指定された前記高さ方向の位置の前記光量データに基づき、前記被検物の形状を測定する測定演算手段と を備えたことを特徴とする共焦点光学系を有した測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (2件)：
G01B11/24 A ,  G01B11/24 K
Fターム (39件)：
2F065AA02 ,  2F065AA19 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB23 ,  2F065CC17 ,  2F065DD11 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF26 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065HH03 ,  2F065HH08 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL06 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065MM15 ,  2F065MM28 ,  2F065PP02 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-195735   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (5件)
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