特許
J-GLOBAL ID：200903026739944656
微粒子の配列制御方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
須藤 阿佐子
, 須藤 晃伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-278544
公開番号（公開出願番号）：特開2005-118984
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 基板上に微粒子を2次元方向及び3次元方向に配列制御し、形状を保持すること。分散媒の蒸発時間を極端に短くすることが可能となり、分散媒の蒸発時間を変えること。【解決手段】 超臨界流体を、微粒子と分散媒との混合物に混入し、均一に分散させ、該混合物の流動性をあげることを特徴とする基体上に微粒子の制御された配列形状を保持させる微粒子の配列制御方法。混合物がノズルから基板上に噴出された際、混合物中の超臨界流体が大気中に噴出され急速に膨張して揮散するとき、分散媒等も蒸発して微粒子が剥き出しになった場合、微粒子が基板に衝突する時または微粒子同士が衝突する時にエネルギーが放出され、そのエネルギーによって微粒子と基板または微粒子同士を接着させる。超臨界二酸化炭素をスプレーに適した圧力に調整する調圧部と、超臨界二酸化炭素と微粒子と分散媒とを混合する撹拌部と、超臨界二酸化炭素と微粒子と分散媒の混合物をスプレーするスプレー部とで構成したことを特徴とする微粒子の配列制御装置。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
基体上に微粒子の制御された配列形状を保持させる微粒子の配列制御方法であって、超臨界流体を、微粒子と分散媒との混合物に混入し、均一に分散させ、該混合物の流動性をあげることを特徴とする方法。
IPC (3件)：
B82B3/00
, B05D3/00
, H01L29/06
B82B3/00
, B05D3/00 D
, H01L29/06 601N
4D075AA01
, 4D075BB56Y
, 4D075DA06
, 4D075DC22
, 4D075EA02
, 4D075EC53
出願人引用 (5件)
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特許第2655013号公報
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特許第2807927号公報
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特許第2670904号公報
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審査官引用 (7件)
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