特許
J-GLOBAL ID：200903026807388805

ボラジン系ポリマー及びボラジン含有ケイ素系ポリマーの製造方法

発明者：
白藤 立

白藤 立 について

, 
橘 邦英

橘 邦英 について

, 
井上 正巳

井上 正巳 について


出願人/特許権者：
国立大学法人京都大学

国立大学法人京都大学 について


代理人 (2件)： 森脇 正志 ,  森脇 康博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-210952
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032745
出願日： 2004年07月20日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】白金を用いることなくボラジン系モノマーとシロキサン系モノマーとを共重合させる方法を提供することを主たる課題とする。【解決手段】第1のソースタンクにボラジン系化合物を装填し、第2のソースタンクにケイ素系化合物を装填し、これらの化合物を出発物質として、プラズマ重合法により絶縁膜を形成する。この場合において、前記第1及び第2のソースタンクから前記プラズマ重合法を実施する成膜装置に至る配管経路の一部又は全部に加熱手段を設けると共に、成膜装置に近づくほど高温となるように温度勾配を設けておくことが好ましい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ソースタンクに一般式(1)
IPC (5件)：
H01L 21/312 ,  C08F 38/00 ,  C08G 77/56 ,  C08G 83/00 ,  C23C 14/12
FI (6件)：
H01L21/312 A ,  H01L21/312 C ,  C08F38/00 ,  C08G77/56 ,  C08G83/00 ,  C23C14/12
Fターム (51件)：
4J031BA11 ,  4J031BC07 ,  4J031BD24 ,  4J100AT13P ,  4J100BC73P ,  4J100CA01 ,  4J100JA44 ,  4J246AA03 ,  4J246AA07 ,  4J246AB13 ,  4J246BA020 ,  4J246BB12X ,  4J246BB120 ,  4J246BB121 ,  4J246BB15X ,  4J246BB150 ,  4J246BB152 ,  4J246BB34X ,  4J246BB340 ,  4J246BB341 ,  4J246BB40X ,  4J246BB400 ,  4J246BB401 ,  4J246CA23U ,  4J246CA23X ,  4J246CA230 ,  4J246CA24U ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246CA27U ,  4J246CA27X ,  4J246CA270 ,  4J246CA39U ,  4J246CA39X ,  4J246CA390 ,  4J246FA561 ,  4J246FB233 ,  4J246FC253 ,  4J246GB22 ,  4J246GD10 ,  4J246HA63 ,  4K029BA62 ,  4K029CA12 ,  4K029DB06 ,  5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AC10 ,  5F058AD05 ,  5F058AD09 ,  5F058AF02 ,  5F058AH01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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