特許
J-GLOBAL ID：200903027141643313

光学部品保持装置及び露光装置

発明者：
三浦 孝治

三浦 孝治 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-372751
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172858
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 真空中でも使用可能であり、光学部品を均一に拘束できる光学部品保持装置を提供する。【解決手段】 ミラー1の張出部3は、保持装置10に保持されている。保持装置10は、ミラー1の張出部3が入り込む断面凹状で平面形状がリング状の保持凹部11を有する。保持凹部11の開口端寄りの内面には、排気溝13が形成されている。排気溝13より奥側には、上下エアパッド15及び横エアパッド16が設けられている。気体浮上パッド(排気溝13及びエアパッド15、16)の非接触保持により、ボディ30の部品搭載部19の変形を吸収できる。また、ミラー1の局所変形・非対称変形や応力複屈折の発生が防止でき、ミラー1の精度を確保できる。
請求項（抜粋）：
光学部品を光学機器のボディ上に保持する装置であって、前記光学部品の被保持部と前記ボディの部品搭載部の間に設けられた、非接触保持機構を具備することを特徴とする光学部品保持装置。
IPC (4件)：
G02B 7/00 ,  G02B 7/198 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/00
FI (6件)：
G02B 7/00 F ,  H01S 3/00 A ,  G02B 7/18 B ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517
Fターム (18件)：
2H043AE01 ,  2H043BC00 ,  2H043BC08 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB20 ,  5F046CB26 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB02 ,  5F046GB09 ,  5F072AA06 ,  5F072AB02 ,  5F072JJ09 ,  5F072KK05 ,  5F072KK06 ,  5F072RR07 ,  5F072YY09
引用特許：
審査官引用 (7件)
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