特許
J-GLOBAL ID：200903027686548512

ポジ型感光性樹脂組成物、およびその用途

発明者：
牧野繁男

牧野繁男 について

, 
森本秀信

森本秀信 について

, 
安田清美

安田清美 について


出願人/特許権者：
三井化学株式会社

三井化学株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-321098
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091433
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【目的】近紫外露光で露光、および弱アルカリで現像が出来、感度及び解像性に優れ、スルーホールのある基板にも、浸漬塗布法(ディップ塗布法)を用い、しかも従来の回路加工工程で、低コストで微細回路加工が出来るポジ型感光性レジスト材料、及びそれに用いる酸感応性共重合体を提供することである。【構成】本発明は、(1)、(A)下記化2の一般式(I)で表される化合物と1分子中に共重合可能なビニル基を有する化合物とを反応せしめて得られる、3,000から80,000の範囲内の重量平均分子量及び、1から100の範囲内の固形分酸価を有する共重合体、及び(B)活性エネルギー線照射により、酸を発生する化合物、及び(C)有機溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物からなる。(化1) (I)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)一般式(I)で表される化合物と1分子中に共重合可能なビニル基を有する化合物とを反応せしめて得られる、重量平均分子量が3,000から80,000の範囲内で、固形分酸価が1から100mgKOH/gの範囲内である共重合体、(B)活性エネルギー線照射により、酸を発生する化合物、及び(C)有機溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (化1)
IPC (4件)：
G03F7/039 ,  C08F220/10 ,  G03F7/16 ,  H05K3/06
FI (4件)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/10 ,  G03F7/16 ,  H05K3/06 H
Fターム (44件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC03 ,  2H025EA04 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA31Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BB01Q ,  4J100BB03Q ,  4J100BB07P ,  4J100BB17Q ,  4J100BB18Q ,  4J100CA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA37 ,  5E339AA02 ,  5E339AC01 ,  5E339AD05 ,  5E339BC01 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE13 ,  5E339CF06 ,  5E339CF16 ,  5E339DD02 ,  5E339GG02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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