特許
J-GLOBAL ID:200903027780041847

反射防止膜及び反射防止膜を有する光学素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-178779
公開番号(公開出願番号):特開2006-003562
出願日: 2004年06月16日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】 幅広い波長範囲で優れた反射防止特性を有し、かつ十分な耐湿性と機械的強度とを兼ね備えた反射防止膜、及び係る反射防止膜を有する光学素子を提供する。【解決手段】 基材1の表面11に形成された複数の層からなる反射防止膜2であって、基材1及び各層の屈折率は基材1から順に小さくなっており、各層とその隣の層及び基材1とそれに接触する層21との屈折率差が0.02〜0.2であり、各層の物理層厚が15〜200 nmであり、各層のうち入射媒質a側に形成された少なくとも1層は金属酸化物からなる多孔質層24,25,26であって、可視域から赤外域にかけて1200 nm以上の波長範囲で1%以下の反射率を有する反射防止膜2、及びかかる反射防止膜2を有する光学素子。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基材の表面に形成された複数の層からなる反射防止膜であって、前記基材及び各層の屈折率は前記基材から順に小さくなっており、前記層とその隣の層及び前記基材とそれに接触する層との屈折率差が0.02〜0.2であり、各層の物理層厚が15〜200 nmであり、各層のうち入射媒質側に形成された少なくとも1層は金属酸化物からなる多孔質層であって、可視域から赤外域にかけて1200 nm以上の波長範囲で反射率1%以下であることを特徴とする反射防止膜。
IPC (3件):
G02B 1/11 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00
FI (3件):
G02B1/10 A ,  B32B7/02 103 ,  B32B9/00 A
Fターム (26件):
2K009AA02 ,  2K009AA12 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009DD02 ,  4F100AA06 ,  4F100AA17B ,  4F100AA19 ,  4F100AA20 ,  4F100AA20B ,  4F100AG00 ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA26B ,  4F100DJ00B ,  4F100GB90 ,  4F100JB07 ,  4F100JK01 ,  4F100JM10B ,  4F100JN06B ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 反射防止膜及び光学部品
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-231044   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 反射防止膜の成膜方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-152848   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 広帯域反射防止膜
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-028838   出願人:株式会社ニコン
審査官引用 (6件)
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