特許
J-GLOBAL ID:200903027800712409
多段式気体ばね除振装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (11件):
前田 弘
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
, 関 啓
, 杉浦 靖也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-260861
公開番号(公開出願番号):特開2008-082389
出願日: 2006年09月26日
公開日(公表日): 2008年04月10日
要約:
【課題】少なくとも上下2段の空気ばね3,4を備えた多段式エアマウントAにおいて、被支持体側(ばね上)に剛性の低い部分ができないようにしながら、空気ばね3,4の合計の受圧面積を十分に大きくして、荷重支持性能を高める。【解決手段】上段及び下段空気ばね3,4において基礎側(ばね下)である底板部(ボトムプレート1、アッパプレート7)同士を、軸部材5及びセンタブロック6からなる支柱によって連結する。一方、被支持体側(ばね上)である天板部(トッププレート2、ロワプレート11)同士は、分厚い壁部材21〜24を組み合わせてなる外周壁20によって連結し、一体的にボックス状に構成する。上段及び下段空気ばね3,4の中間には左右の水平空気ばね26,27を配設する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
基礎に対して被支持体を支持する上下方向の気体ばねが、少なくとも上段及び下段の2つ、設けられている多段式の気体ばね除振装置であって、
前記下段の気体ばねの底板部における内周寄りの部位から上方の気体室に向かって延びるように支柱が設けられ、
前記支柱が、前記下段気体ばねの天板部に形成された貫通穴を通過して上方に延びていて、その外周と貫通穴の周縁との間が可撓性部材によって気密に封止されるとともに、
当該支柱の上端が前記上段の気体ばねの底板部における内周側の部位に連繋する一方、その上段気体ばねの天板部の外周から下方に垂下するように周壁が設けられ、この周壁の下端部が前記下段気体ばねの天板部の外周に連繋している
ことを特徴とする多段式気体ばね除振装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (3件):
3J069AA01
, 3J069AA27
, 3J069DD50
引用特許:
出願人引用 (5件)
-
空圧浮動支持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-216834
出願人:藤倉ゴム工業株式会社
-
流体アクチュエータ及びこれを用いたハイブリッドアクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-067652
出願人:特許機器株式会社
-
除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-119999
出願人:特許機器株式会社
-
除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-403844
出願人:特許機器株式会社
-
露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-005890
出願人:キヤノン株式会社
全件表示
前のページに戻る