特許
J-GLOBAL ID：200903027989422570

検査装置およびプローブカード

発明者：
井戸 義幸

井戸 義幸 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-224384
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208773
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 加熱・冷却時においても、検査対象を適切に検査することができるプローブカードを備えた検査装置を提供すること。【解決手段】 検査用の端子が配設されたパフォーマンス基板と、被検査対象に接触するプローブが配設されたコンタクター基板と、前記コンタクター基板のプローブと、前記パフォーマンス基板の端子との間に介在するプローブカードとを備える検査装置であって、前記プローブカードが、セラミック板に樹脂薄膜を積層してなる多層基板であることを特徴とする検査装置。
請求項（抜粋）：
検査用の端子が配設されたパフォーマンス基板と、被検査対象に接触するプローブが配設されたコンタクター基板と、プローブカードとを備える検査装置であって、前記プローブカードが、セラミック板に樹脂薄膜を積層してなる多層基板であることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
Fターム (19件)：
2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC21 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04 ,  2G032AF01 ,  2G032AL04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA62 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05
引用特許：
審査官引用 (7件)
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