特許
J-GLOBAL ID：200903028360576130

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
宮谷 竜也

宮谷 竜也 について

, 
中島 邦雄

中島 邦雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-297376
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121537
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 記録媒体の原盤、スタンパおよび記録媒体に形成されたマークの異常部分を検出し、異常部分を観察可能な走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 試料表面に形成されたマークの位置を検出し、プローブを追従させるための位置検出手段と、マーク異常を検出する手段と、異常なマークの部分でプローブを走査させマーク形状を観察する手段を有し、マークの異常部分のみを走査型プローブ顕微鏡で形状観察することで、たとえば記録媒体表面に形成されたマークすべてを短時間に検査することができる構成とした。
請求項（抜粋）：
微小なプローブが試料表面上を走査することによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、前記試料表面に形成されたマークの位置を検出する位置検出手段と、前記マークの異常を検出する異常検出手段と、前記マークの異常部分で前記プローブを走査させ、前記マークの形状を観察する形状観察手段と、を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G12B 1/00 601 ,  G01B 11/30
FI (5件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 L ,  G01N 37/00 X ,  G12B 1/00 601 A ,  G01B 11/30 Z
Fターム (9件)：
2F065AA04 ,  2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065BB27 ,  2F065CC03 ,  2F065DD06 ,  2F065HH04 ,  2F065MM03 ,  2F065PP24
引用特許：
審査官引用 (10件)
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