特許
J-GLOBAL ID:200903028578714518
熱式センサ及びそれを用いた測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-208666
公開番号(公開出願番号):特開2006-029956
出願日: 2004年07月15日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】 被測定物が水性液体である場合において、センサ外面への気泡の付着が低減され、測定精度の向上が可能な熱式センサを提供する。【解決手段】 発熱体及び感温体を含んでなる検知素子21aと、該検知素子21aを封止する樹脂モールド23と、検知素子21a及び水性被測定液体の間での熱伝達を行う熱伝達部材21cと、を備えた熱式センサ。熱伝達部材21cの一部は樹脂モールド23から露出して露出表面部を形成しており、該露出表面部及びその周囲に位置する樹脂モールド表面部分に酸化シリコン膜からなる親水性膜50が付されている。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
感温体を含んでなる検知素子と、該検知素子を封止する樹脂モールドと、前記検知素子及び水性の被測定液体の間での熱伝達を行う熱伝達部材と、を備えた熱式センサであって、
前記熱伝達部材の一部は前記樹脂モールドから露出して露出表面部を形成しており、該露出表面部に親水性膜が付されていることを特徴とする熱式センサ。
IPC (2件):
FI (3件):
G01N25/18 J
, G01F1/68 104A
, G01F1/68 104B
Fターム (12件):
2F035AA02
, 2F035EA04
, 2F035EA08
, 2G040AA03
, 2G040AB08
, 2G040BA24
, 2G040BB01
, 2G040DA01
, 2G040EA01
, 2G040EC06
, 2G040HA05
, 2G040ZA08
引用特許:
出願人引用 (6件)
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流体識別方法及び流体識別装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-321032
出願人:三井金属鉱業株式会社
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流量センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-321033
出願人:三井金属鉱業株式会社
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流量センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-321034
出願人:三井金属鉱業株式会社
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審査官引用 (4件)