表面波装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-214279
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】金属粉によるショート不良を防止するための保護膜の除去コストを低減することができ、かつ、保護膜の形成コストを低減することが可能な表面波装置を提供することにある。【解決手段】一対のくし歯電極3、4からなるIDT5が形成された圧電基板1上に感光性樹脂からなる保護膜11が形成され、IDT5の保護膜11の一部が除去され、IDT5の引出電極部3c,4cが露出するように形成されている。保護膜11は、金属粉によりIDT5の電極指3a,4aがショートしないように形成されたものである。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板上に形成された少なくとも1つのIDTを含む電極パターンとを備えた表面波装置であって、前記電極パターンを覆って、前記圧電基板上に感光性樹脂からなる保護膜が形成され、前記IDTの引出電極部上の保護膜の一部が除去されていることを特徴とする表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (11件)

表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-314665 出願人：株式会社村田製作所
表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-216313 出願人：株式会社村田製作所
表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-001352 出願人：株式会社村田製作所

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