特許
J-GLOBAL ID：200903029065067874
透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩澤 寿夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-208948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044236
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：
【要約】【課題】 資源環境負荷の高いIn2O3の含有量を低く抑えることができ、室温付近の温度で容易に作製することができ、低抵抗かつ光学吸収端が紫外域にあり、青色透過性に優れた新規な透明導電体材料、その製造方法及びこの材料を用いた電極を提供すること。【解決手段】基材の少なくとも一方の表面の少なくとも一部に、一般式ZnxMyInzO(x+3y/2+3z/2)(式中、Mはアルミニウム及びガリウムのうち少なくとも一つの元素であり、比率x/yが0.2〜12の範囲であり、比率z/yが0.4〜1.4の範囲にある)で表される非晶質酸化物を含有する膜または上記非晶質酸化物に陽イオンを注入した膜を有する物品、この物品の製造方法及びこの物品からなる電極。
請求項（抜粋）：
基材の少なくとも一方の表面の少なくとも一部に、一般式ZnxMyInzO(x+3y/2+3z/2)(式中、Mはアルミニウム及びガリウムのうち少なくとも一つの元素であり、比率x/yが0.2〜12の範囲であり、比率z/yが0.4〜1.4の範囲にある)で表される非晶質酸化物を含有する膜を有することを特徴とする物品。
IPC (4件)：
C01G 15/00
, G02F 1/1343
, H01B 5/14
, H01B 13/00 503
C01G 15/00 B
, G02F 1/1343
, H01B 5/14 A
, H01B 13/00 503 B
2H092HA04
, 2H092MA05
, 2H092MA23
, 2H092MA30
, 2H092NA25
, 2H092PA01
, 5G307FA01
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC09
, 5G307FC10
, 5G323BA02
, 5G323BB05
, 5G323BB06
, 5G323BC02
, 5G323BC03
