特許

J-GLOBAL ID：200903029189951152

センサ電極とワークピースの間隔を測定する方法

発明者： ステファン バイエルマン ,  ジョージ スピュール
出願人/特許権者： プレシテック ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-038619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234903
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 センサ電極とワークピースの間隔を測定する方法および装置を提供する。【解決手段】 センサ電極(12)とワークピース(15)の間隔を測定する方法において、センサ電極(12)はワークピース(15)と共にそれを通じて交流(im(t))が流れる測定コンデンサ(16)を形成し、センサ電極(12)に存在する電圧は測定電圧(Um(t))として分岐される。測定コンデンサ(16)のインピーダンスに対する、センサ電極(12)とワークピース(15)の間におけるプラズマ形成による外乱影響を除去することを可能とするため、本発明によれば、測定すべき間隔(d)を決定するため、測定電圧(Um(t))から実数部(UmR)および虚数部(UmI)を決定することが可能となる。

請求項（抜粋）：

センサ電極(12)とワークピース(15)の間隔(d)を測定する方法であって、前記センサ電極(12)は、前記ワークピース(15)と共に測定コンデンサ(16)を形成し、前記測定コンデンサ(16)を通って交流(im(t))が流れるステップと、前記センサ電極(12)に存在する電圧が、測定電圧(Um(t))として分岐されるステップと、測定すべき前記間隔(d)をそれから決定するため、前記測定電圧(Um(t))の実数部および虚数部を決定するステップと、を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01B 7/14 ,  G01B 7/00

FI (2件)：

G01B 7/14 ,  G01B 7/00 K

引用特許：

審査官引用 (10件)

• 特開平3-194487
  
• 特開平4-279803
  
• レーザー加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-102447   出願人：東洋電子株式会社
• レーザビームによる工作物加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-288072   出願人：プレシテックゲーエムベーハー
• レーザ溶接品質判定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-308968   出願人：株式会社東芝
• ガス切断機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-020266   出願人：株式会社田中製作所
• レーザ加工装置用ノズルハイトセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-203004   出願人：株式会社ダイヘン
• 磁気軸受の制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-124849   出願人：セイコー精機株式会社
• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-033513   出願人：アイダエンジニアリング株式会社
• ギャップ検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-169853   出願人：三菱電機株式会社