特許
J-GLOBAL ID：200903029669423210
レーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063979
公開番号（公開出願番号）：特開2003-260577
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 加工対象物の下地部材表面に形成された被覆層に、少ないショット数で穴を開け、その穴の形状を制御する。【解決手段】 第1の材料からなる表層部を有する下地部材と、下地部材の表面上に形成され、第1の材料とは異なる第2の材料で形成された被覆層とを含む加工対象物37を準備する。被覆層を透過し、下地部材の表面で反射し、反射位置の被覆層を下地部材から剥離させる性質を有するパルスレーザビームを、加工対象物37に被覆層表面から入射させ、被覆層を下地部材から剥離させて穴を形成する。形成される穴の開口部の面積を底面の面積で除して得られる値を開口率と定義し、パルスレーザビームの被覆層表面における1パルスあたりのフルエンスを、他の条件を一定に保ったまま徐々に増加させて穴を形成した場合、形成される穴の開口率が収束する値の1.2倍となるフルエンス以上のフルエンスで穴を形成する。
請求項（抜粋）：
第1の材料からなる表層部を有する下地部材と、該下地部材の表面上に形成され、該第1の材料とは異なる第2の材料で形成された被覆層とを含む加工対象物を準備する工程と、前記被覆層を透過し、前記下地部材の表面で反射し、反射位置の該被覆層を該下地部材から剥離させる性質を有するレーザビームを、前記被覆層表面におけるビームスポットが、少なくとも一つの尖ったまたは丸みを帯びた角を有する形状になるように入射させ、前記被覆層を前記下地部材から剥離させて穴を形成する工程とを有するレーザ加工方法。
IPC (3件)：
B23K 26/00 330
, B23K101:42
, B23K103:16
B23K 26/00 330
, B23K101:42
, B23K103:16
4E068AF01
, 4E068CA01
, 4E068CA03
, 4E068CA05
, 4E068CA08
, 4E068DB14
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
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