特許
J-GLOBAL ID：200903029851833459

透明導電膜評価装置及び透明導電膜の評価方法

発明者：
宮原 弘臣

宮原 弘臣 について

, 
高野 暁巳

高野 暁巳 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 工藤 実 ,  中尾 圭策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-046369
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225418
出願日： 2006年02月23日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：
【課題】透明導電膜の電気特性を短時間で的確にオンラインで検査することが可能な透明導電膜評価装置及び透明導電膜の評価方法を提供する。【解決手段】計測する特性に対応した波長を有する光を、照射光として、基板11上に形成された透明導電膜へ照射する照射部3と、照射光が透明導電膜で反射された反射光を受光する検出部2と、照射光と反射光とから算出される反射率に基づいて、透明導電膜の特性を評価する制御部7とを具備する透明導電膜の評価装置を用いる。波長は、反射率と特性との相関が0.7以上である。透明導電膜のシート抵抗の計測には、波長として2.0μm以上3.0μm以下を用いてもよい。透明導電膜の抵抗率の計測には、波長として1.5μm以上1.8μm以下を用いてもよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
計測する特性に対応した波長を有する光を、照射光として、基板上に形成された透明導電膜へ照射する照射部と、 前記照射光が前記透明導電膜で反射された反射光を受光する検出部と、 前記照射光と前記反射光とから算出される反射率に基づいて、前記透明導電膜の前記特性を評価する制御部と を具備し、 前記波長は、前記反射率と前記特性との相関が0.7以上である 透明導電膜の評価装置。
IPC (3件)：
G01N 21/35 ,  G01B 11/06 ,  H01L 31/04
FI (3件)：
G01N21/35 Z ,  G01B11/06 Z ,  H01L31/04 M
Fターム (71件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF17 ,  2F065FF41 ,  2F065FF64 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR06 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059MM01 ,  5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051BA14 ,  5F051CA02 ,  5F051CA03 ,  5F051CA04 ,  5F051CA05 ,  5F051CA15 ,  5F051CA35 ,  5F051CA36 ,  5F051CB12 ,  5F051CB15 ,  5F051DA04 ,  5F051DA16 ,  5F051DA18 ,  5F051EA09 ,  5F051EA10 ,  5F051EA11 ,  5F051EA16 ,  5F051FA03 ,  5F051FA06 ,  5F051FA13 ,  5F051FA15 ,  5F051FA18 ,  5F051FA30 ,  5F051GA03 ,  5G323BA05 ,  5G323BB06 ,  5G323BC03
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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