特許
J-GLOBAL ID：200903052178066876

透明導電膜分析方法および透明導電膜品質管理方法ならびに太陽電池

発明者：
▲高▼野 暁巳

▲高▼野 暁巳 について

, 
飯田 政巳

飯田 政巳 について

, 
安田 晴美

安田 晴美 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-372949
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134324
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 光干渉法を用いずに膜厚を測定でき、簡便にヘイズ率を測定できる透明導電膜分析方法を提供する。【解決手段】 ライン照明器3aから白色光を透明導電膜付きガラス基板11に照射し、反射した光をカラーラインセンサカメラ2aによってR(赤),G(緑),B(青)の3波長に分光し、これらの波長の光強度を演算することによって透明導電膜の膜厚またはヘイズ率を算出することを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光を透明導電膜に照射し、反射した光を少なくとも2つの波長に分光し、これらの波長の光強度を演算することによって前記透明導電膜の膜厚を算出することを特徴とする透明導電膜分析方法。
IPC (3件)：
G01B11/06 ,  G01N21/27 ,  H01B13/00
FI (3件)：
G01B11/06 Z ,  G01N21/27 B ,  H01B13/00 503B
Fターム (23件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065FF17 ,  2F065FF44 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM02 ,  2F065PP15 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM04 ,  5G323BB06
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 分布測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-120652   出願人：セイコーエプソン株式会社
審査官引用 (5件)
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