光ファイバープローブ及びそれを備える走査型プローブ顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：平木祐輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-325920
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207437
出願日： 2002年11月08日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】蛍光観察が可能でありSNOMの感度が高いSNOM/STM、及び局所光照射を可能にし熱膨張の影響を軽減した照射STMを提供する。【解決手段】 SNOMで用いる開口型光ファイバープローブ11の開口部33にITO薄膜35をコーティングし、このITO薄膜35をSTM用の電極とする。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡に用いられる光ファイバープローブにおいて、円錐状に突出した先端部を有する光ファイバーと、前記先端部の最先端領域以外の領域からの光入出射を防止する遮光膜と、前記最先端領域に被覆されたITO薄膜とを備えることを特徴とする光ファイバープローブ。

IPC (3件)：

G01N 13/14 , G01B 21/30 , G01N 13/12

FI (5件)：

G01N 13/14 B , G01N 13/14 A , G01B 21/30 , G01N 13/12 A , G01N 13/12 D

Fターム (7件)：

2F069AA60 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069LL03

引用特許：

審査官引用 (5件)

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引用文献：

審査官引用 (1件)

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