薄膜微小機械式共振子ジャイロ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 内藤浩樹 , 永野大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-118707
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240540
出願日： 2007年04月27日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】駆動効率の向上により印加された角速度に対する検出感度が向上した薄膜微小機械式共振子ジャイロを提供することを目的とする。【解決手段】アーム2,3とアーム2,3を連結する基部4とを有したシリコンからなる音叉と、アーム2,3の主面5上の中心線6,7より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第1、第2の電極10,12,11,13と、第1、第2の電極10,12,11,13上にそれぞれ設けられた第1、第2の圧電薄膜14,16,15,17と、第1、第2の圧電薄膜14,16,15,17上にそれぞれ設けられた第3、第4の電極18,20,19,21とから構成されたものである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも2つのアームとこのアームを連結する少なくとも1つの基部とを有した非圧電材料からなる音叉と、この音叉の少なくとも1つのアームの少なくとも1つの主面上の中心線より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第1、第2の電極と前記第1、第2の電極上にそれぞれ設けられた第1、第2の圧電薄膜と前記第1、第2の圧電薄膜上にそれぞれ設けられた第3、第4の電極とを有する駆動部と、前記音叉の少なくとも1つのアームの少なくとも1つの主面上に設けられた検知部とを備え、前記第3、第4の電極に互いに逆相の交流電圧を印加することにより前記音叉がX方向に共振し、印加された角速度により前記音叉のアームの主面に直角の方向(Z方向)に発生するコリオリ力に起因した前記アームの撓みを前記検知部により電気的または光学的な出力として検出するように構成され、検知部は、アームの主面上に配置された第1、第2の電極に対して離間するように設けられた第5の電極と、この第5の電極上に設けられた第3の圧電薄膜と、この第3の圧電薄膜上に設けられた第6の電極とから構成された薄膜微小機械式共振子ジャイロ。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (5件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/08 L , H01L41/18 101Z

Fターム (5件)：

2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第5438231号公報

審査官引用 (11件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-264518 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141936 出願人：日本電装株式会社
振動型角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-149415 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー

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