特許

J-GLOBAL ID：200903030081514595

ポリイミド前駆体組成物、ポリイミド膜の製造方法及び半導体装置

発明者： 上田 充 ,  福川 健一 ,  小倉 知士 ,  土井 一郎 ,  花畑 博之
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学 ,  旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-245463
公開番号（公開出願番号）：特開2007-056196
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】ポリイミド前駆体の骨格構造如何に関わらず、低温プロセスでポリイミド膜を得ることができ、かつ保存安定性の高いポリイミド前駆体組成物等を提供する。【解決手段】本発明の一態様におけるポリイミド前駆体組成物は、基体上にポリイミドのパターンを形成するためのポリイミド前駆体組成物であって、(a)ポリアミド酸、(b)200°C以下の温度で加熱することにより熱分解を起こして2級アミンが発生する中性化合物である熱塩基発生剤、(c)溶媒を含有する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

ポリイミド前駆体と、熱により塩基を発生する熱塩基発生剤と、溶媒を含有するポリイミド前駆体組成物であって、 前記ポリイミド前駆体は、下記式(1)の繰り返し単位を有するポリアミド酸であり、

IPC (5件)：

C08G 73/10 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

C08G73/10 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503B ,  G03F7/038 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (48件)：

2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC85 ,  2H025BE00 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB43 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA251 ,  4J043UA252 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB282 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA022 ,  4J043VA051 ,  4J043WA09 ,  4J043WA16 ,  4J043YA06 ,  4J043YA08 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB47 ,  4J043ZB50

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ポリイミド前駆体及び組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-257582   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開昭61-127731号公報
  
• 特開昭61-72022号号公報
  

審査官引用 (5件)

• 感光性ポリアミド酸組成物とそれより得られる光学用ポリイミド樹脂と光導波路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-381125   出願人：日東電工株式会社
• 感光性ポリアミック・アルキル・エステル組成物およびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-206386   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• ポリイミド前駆体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-177984   出願人：日東電工株式会社
• 感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-284563   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
• 感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-000950   出願人：国立大学法人東京工業大学, 旭化成エレクトロニクス株式会社