特許
J-GLOBAL ID：200903030201687430

レーザドップラ振動計

発明者：
吉田 信俊

吉田 信俊 について

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舩津 宏明

舩津 宏明 について

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大島 良太

大島 良太 について


出願人/特許権者：
株式会社小野測器

株式会社小野測器 について


代理人 (1件)： 佐藤 克志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-283414
公開番号（公開出願番号）：特開2008-101963
出願日： 2006年10月18日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】測定対象物までの距離の相違による集光角度の変化を抑制する。【解決手段】干渉光学系2から出射されたレーザ光は、集光光学系3で、測定対象物100の測定対象面上に集光される。そして、測定対象物100の表面で反射した反射光は集光光学系3を通って干渉光学系2に戻され、干渉光学系2において反射光と参照光との干渉が観測される。ここで、測定に先立って、移動制御部9は、距離センサ8を用いて、測定対象物100の測定対象面までの距離を測定すると共に、距離センサ8で測定される距離より求まる集光光学系3と測定対象物100の測定対象面との間の距離が、集光光学系3の固定の焦点距離に一致するように、移動ステージ7を用いて集光光学系3を光軸方向に移動する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象面の振動を計測するレーザドップラ振動計であって、 レーザ光を出射するレーザ光源と、 焦点距離が固定の集光光学系と、 前記レーザ光源が出射したレーザ光を、第1のレーザ光と第2のレーザ光に分岐し、第1のレーザ光を前記集光光学系に出射する干渉光学系と、 集光光学系を光軸方向に移動する移動機構と、 前記測定定対象面までの距離を測定する距離測定手段と、 測定対象面の振動の計測の開始に先立って、前記距離測定手段が測定した測定対象面までの距離に基づいて、集光光学系と測定対象物の測定対象面との間の距離が、前記集光光学系の焦点距離に一致するように、前記移動機構に集光光学系を光軸方向に移動させる移動制御部とを有し、 前記集光光学系は、前記干渉光学系から入射する第1のレーザ光を前記測定対象面上に集光すると共に、前記測定対象面で反射した反射光を前記干渉光学系に導入し、 前記干渉光学系は、前記第2のレーザ光の周波数を所定量シフトすると共に、周波数をシフトした第2のレーザ光と、前記集光光学系から導入された前記反射光とを干渉させた干渉光を生成することを特徴とするレーザドップラ振動計。
IPC (1件)：
G01H 9/00
FI (1件)：
G01H9/00 C
Fターム (4件)：
2G064AB01 ,  2G064BC05 ,  2G064BC06 ,  2G064BC32
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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