特許
J-GLOBAL ID：200903030463149021
波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-405247
公開番号（公開出願番号）：特開2005-165067
出願日： 2003年12月03日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】低電圧で可動部の安定した駆動が可能であり、構造、製造工程を簡易なものとすることができ、小型化が図れる波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】光透過性を有し、可動部31と、可動部31を変位可能に支持する支持部32とを有する第1の基板3と、光透過性を有し、第1の基板3に対向する第2の基板2と、可動部31と第2の基板2との間に設けられた第1のギャップ21および第2のギャップ22と、可動部31と第2の基板2との間において、第2のギャップ22を介して干渉を生じさせる干渉部と、第1のギャップ21を利用し、可動部31を第2の基板2に対して変位させることにより、第2のギャップ22の間隔を変更する駆動部とを備える波長可変フィルタ1であって、支持部32の厚さが、可動部31の厚さより薄いことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光透過性を有し、可動部と、該可動部を変位可能に支持する支持部とを有する第1の基板と、
光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記可動部と前記第2の基板との間に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、
前記可動部と前記第2の基板との間において、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる干渉部と、
前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備える波長可変フィルタであって、前記支持部の厚さが、前記可動部の厚さより薄いことを特徴とする波長可変フィルタ。
IPC (4件)：
G02B26/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B5/28
G02B26/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B5/28
2H041AA05
, 2H041AB10
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
, 2H048GA13
, 2H048GA25
, 2H048GA30
, 2H048GA51
出願人引用 (2件)
-
ファブリペローフィルタ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-371261
出願人：横河電機株式会社
-
米国特許第6341039号明細書
審査官引用 (8件)
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