特許
J-GLOBAL ID：200903030570953380
複合構造物の形成方法及び複合構造物形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314444
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119575
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 噴射開始直後の速度及び濃度の不安定な微粒子を排除できる遮断板を提供する。【解決手段】 ノズル107と支持台109の間に遮断板112を設置し、この遮断板112はステージ113を動かすことによって必要に応じて挿入可能である。噴射開始直後の速度及び濃度が不安定な微粒子ビームは一旦遮断板112によって遮られ、安定な状態に移行してから遮断板を移動させ基板108に吹き付けられる。これによって、安定した微粒子ビームのみを基板に噴射することが可能になり、均一かつ損傷のない構造物を形成することができる。
請求項（抜粋）：
微粒子を含むエアロゾルをノズルから支持台に支持された基材に向けて噴射させて前記基材表面に前記微粒子の構成材料からなる構造物を形成させる複合構造物形成方法において、前記ノズルと前記支持台との間に介在可能な遮断手段を設け、前記遮断手段は少なくとも噴射直後には、前記基材表面に前記エアロゾルが到達しないように前記ノズルと前記支持台を遮断する位置にあることを特徴とする複合構造物形成方法。
IPC (5件)：
C23C 24/04
, B05B 7/26
, B05B 15/04 103
, B05D 1/02
, B05D 1/32
C23C 24/04
, B05B 7/26
, B05B 15/04 103
, B05D 1/02 Z
, B05D 1/32 E
4D073AA01
, 4D073AA07
, 4D073BB06
, 4D073DB04
, 4D073DB17
, 4D073DB39
, 4D075AA02
, 4D075AA26
, 4D075AA53
, 4D075AA62
, 4D075AA65
, 4D075AD16
, 4D075CA02
, 4D075CA13
, 4D075DA06
, 4D075EA02
, 4D075EB01
, 4D075EB05
, 4F033QA01
, 4F033QB02Y
, 4F033QB05
, 4F033QB13Y
, 4F033QB18
, 4F033QB19
, 4F033QB20
, 4F033QC07
, 4F033QD02
, 4F033QD11
, 4F033QE05
, 4F033QF02Y
, 4F033QF15Y
, 4F033QH05
, 4F033QH10
, 4F033QH13
, 4K044AA01
, 4K044AB02
, 4K044BA13
, 4K044BA18
, 4K044BB01
, 4K044BC12
, 4K044CA12
, 4K044CA29
, 4K044CA71
