特許
J-GLOBAL ID:200903030627325870
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-127189
公開番号(公開出願番号):特開2006-313348
出願日: 2006年05月01日
公開日(公表日): 2006年11月16日
要約:
【課題】 イミダゾール二量体系光開始剤の吸収領域を410nm以上まで移動させて半導体レーザー光源の照度偏差にかかわらず355〜405nmのレーザー露光にも一様な光感度を示し、均一な線幅のパターンを形成することができる。加えて、アルカリ水溶液での現像が可能であり、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明による感光性樹脂組成物は、イミダゾール二量体系光開始剤、アクリジン系またはキサンチン系補助開始剤、およびトリアリールメタン系光増感剤を含む。【選択図】なし
請求項(抜粋):
イミダゾール二量体系光開始剤、
アクリジン系またはキサンチン系補助開始剤、および
トリアリールメタン系光増感剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/031
, G03F 7/033
, G03F 7/027
, G03F 7/004
, C08F 2/50
FI (5件):
G03F7/031
, G03F7/033
, G03F7/027 502
, G03F7/004 512
, C08F2/50
Fターム (36件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA20
, 2H025CA28
, 2H025CB10
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025EA08
, 2H025FA10
, 2H025FA17
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA22
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QB02
, 4J011RA03
, 4J011SA75
, 4J011SA78
, 4J011SA82
, 4J011UA06
, 4J011VA01
, 4J011WA01
引用特許:
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