特許
J-GLOBAL ID:200903030627325870

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-127189
公開番号(公開出願番号):特開2006-313348
出願日: 2006年05月01日
公開日(公表日): 2006年11月16日
要約:
【課題】 イミダゾール二量体系光開始剤の吸収領域を410nm以上まで移動させて半導体レーザー光源の照度偏差にかかわらず355〜405nmのレーザー露光にも一様な光感度を示し、均一な線幅のパターンを形成することができる。加えて、アルカリ水溶液での現像が可能であり、解像度、基板に対する密着性、および保管安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明による感光性樹脂組成物は、イミダゾール二量体系光開始剤、アクリジン系またはキサンチン系補助開始剤、およびトリアリールメタン系光増感剤を含む。【選択図】なし
請求項(抜粋):
イミダゾール二量体系光開始剤、 アクリジン系またはキサンチン系補助開始剤、および トリアリールメタン系光増感剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  C08F 2/50
FI (5件):
G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 512 ,  C08F2/50
Fターム (36件):
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA20 ,  2H025CA28 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025EA08 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB02 ,  4J011RA03 ,  4J011SA75 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
引用特許:
審査官引用 (9件)
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