特許
J-GLOBAL ID：200903030646656682

磁気センサおよびその製法

発明者：
佐藤 秀樹

佐藤 秀樹 について

, 
内藤 寛

内藤 寛 について


出願人/特許権者：
ヤマハ株式会社

ヤマハ株式会社 について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-077011
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261401
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】1枚の基板に3個以上の巨大磁気抵抗素子を配置し、三軸方向の磁界の強さを検知することができる小型の磁気センサを得る。【解決手段】基板1上の下地膜の平坦面に、X軸センサを構成する4個の巨大磁気抵抗素子素子2a〜2dとY軸センサを構成する4個の巨大磁気抵抗素子素子3e〜3hを配置する。Z軸センサは、厚膜の一部をエッチングして形成した複数の略直線の稜線を有する突起部の斜面に形成した4個の巨大磁気抵抗素子素子4i〜4lで構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に1以上の略直線の稜線を有する突起部が並列して形成され、これら突起部の斜面に、感磁部とこれら感磁部を電気的に直列に接続するバイアス磁石部とからなる巨大磁気抵抗素子が設けられ、上記基板の平坦面に2個以上の巨大磁気抵抗素子が設けられていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (3件)：
H01L 43/08 ,  H01L 43/12 ,  G01R 33/09
FI (3件)：
H01L43/08 Z ,  H01L43/12 ,  G01R33/06 R
Fターム (4件)：
2G017AA02 ,  2G017AC09 ,  2G017AD55 ,  2G017AD65
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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